SF6氣體回收裝置的凈化、干燥指裝置在不降低原氣體的純度情況下，對SF6氣體中所含有的固體雜質(zhì)、油份、水份加以去除，從而保證進(jìn)入電器設(shè)備的SF6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過程同步完成，自循環(huán)凈化方法如下：

  SF6氣體回收裝置貯液罐內(nèi)SF6自循環(huán)時，開冷凍壓縮機(jī)、V5、V2、SF6壓縮機(jī)、V3。若SF6壓縮機(jī)排氣壓力太高可調(diào)節(jié)V2閥門開啟大小，以便氣體正常循環(huán)。

  SF6氣體回收裝置自循環(huán)結(jié)束時，關(guān)V5、V2、SF6壓縮機(jī)、V6、冷凍壓縮機(jī)等。